Vakum yönteminde test gazı, atmosfer tarafından boşaltılan numunenin duvarına karşı üflenir. Sızıntılarda numuneye girer ve kaçak dedektörüne beslenir. Numune vakum basıncına dayanıklı olmalıdır. GROSS — FINE — ULTRA hassasiyet aşamaları üzerinden geçilir. Algılama limiti, koklama yönteminden daha düşüktür. Sızıntıyı ölçmek için sızıntıdaki helyum konsantrasyonu bilinmelidir. Denge durumu beklenmelidir.