Yükseltilmiş E-Beam tüp ivmesi ile EM8000'in Yükseltme versiyonudur, vakum modunu değiştirir, düşük voltajda yalıtkan numuneyi püskürtme olmadan gözlemlemek için kullanılabilir, kolay, kullanışlı ve kullanıcı dostu işletim sistemi, çoklu uzatma tadilat planı. Aynı zamanda 1nm(30kV) çözünürlüğe sahip ilk FEG SEM'dir.
Avantajlar:
1, Schittky elektron tabancası, yüksek parlaklık, iyi tek renklilik, küçük ışın noktası, uzun ömür.
2, E-ışın tüpü hızlanması ile, isteğe bağlı kademeli yavaşlama
3, Kararlı ışın akımı, düşük enerji yayılımı
4, İletken olmayan numune, düşük voltajda püskürtme yapmadan gözlemleyin
5, Kolay, kullanışlı ve kolay kullanım arayüzü
6, Büyük 5 eksenli motorlu sahne
Özellikler:
Yapılandırma | |
Çözünürlük | 1nm@30kV(SE) |
3nm@1Kv(SE) | |
2.5nm@30kV(BSE) | |
Büyütme | 15x-800.000x |
Hızlanma Gerilimi | 0-30kV sürekli ve ayarlanabilir |
Elektron silahı | Schottky alan emisyon tabancası |
Katot Yayıcı | Tungsten mono kristal |
Beş Eksen Eucentric Auto Stage | X:0~150mm |
Y:0~150mm | |
Z:0~60mm | |
Sağ:360° | |
T:-5°~75 ° | |
Maksimum Numune | 320mm |
L*W*H | 342mm*324mm*320mm(iç hazne boyutu) |