Manyetik Olarak Kaldırılan Pompa, CXF-320/3001E, Su soğutma, ISO-F, Yerleşik

Manyetik olarak havaya kaldırılan moleküler pompalar, şaftları manyetik kuvvet sayesinde desteklenen pompalardır.
Seri manyetik olarak levitated moleküler pompalar, modern yarı iletken üretimi, çip üretimi, endüstriyel kaplama ve bilimsel enstrümanlar alanlarındaki uygulama gereksinimlerini karşılamak için KYKY tarafından geliştirilen vakum üretim ekipmanıdır.

Avantajlar:

1. Çalışma sırasında sıfır sürtünme ve düşük güç tüketimi
2. Pompalar için yağlama olmadan gerçekten temiz yüksek vakum ve ultra yüksek vakum elde etmek kolaydır
3. Uzun süreli aşındırıcı gazları çıkarma kabiliyeti
4. Hassas seramik bilyeler ile rulmanların korunması sayesinde yüksek güvenlik ve uzun hizmet ömrü
5. Ani kapanma durumunda güç üretme işlevi
6. Sürtünmesiz
7. Kirlilik içermez
8. Bakım gerektirmez
9. Düşük titreşim
10. herhangi bir yönde kurulur.

Uygulamalar:

Seri manyetik olarak havaya kaldırılan moleküler pompalar, esas olarak yarı iletken üretimi, klips üretimi, endüstriyel kaplama ve bilimsel enstrümanlar, özellikle aşındırma, CVD, PVD ve iyon implantasyonunda bulunan aşındırıcı gazların çıkarılması ve normal sıcaklıkta kolayca pıhtılaşan gazların çıkarılması için uygulanır.

Özellikler:

Teknolojiler:

• Manyetik Rulman için Kontrol Teknolojisi: 5 eksenli manyetik olarak havaya kaldırılmış, gelişmiş uluslararası kontrol teorisine dayalı olarak, yüksek hızlı şaftın sabit havada ve güvenilir çalışma gibi önemli avantajlarını garanti etmek için.
• Motor Sürücü Kontrol Teknolojisi: Motorun maksimum enerjisine sahip olan ve şaftın dönme hızını otomatik olarak telafi eden, böylece kararlı başlatma, güvenilir çalışma ve dinamik enerjinin otomatik düzenleme işlevini gerçekleştiren yüksek verimli yüksek hızlı DC motor ve servo kontrol sistemi.
• Karbon fiber kompozit rotor teknolojisi: Yüksek mukavemetli alüminyum alaşım ve hafif karbon fiberin birleştirilmesiyle yapılmıştır. Ağırlığın büyük ölçüde azaltılması ve mukavemetin büyük ölçüde iyileştirilmesi ile karakterize edilir, böylece yüksek dönüş hızı, yüksek performans ve yüksek güvenilirlik hedeflerine ulaşılır.
• Korozyona dayanıklı teknoloji: Yarı iletken üretim proseslerinde korozif gazların neden olduğu korozyona uzun süre dayanabilmesi için bölmelerdeki parçaların yüzeyleri özel işlemden geçirilir. Ayrıca pompalardaki düşük vakumlu kısımları korumak için pompaların şaftlarına N2 gibi soy gazlar tamamen doldurulur, böylece korozif gazları uzun süreler boyunca istikrarlı bir şekilde tahliye etme işlevi gerçekleşir.
• Isıtma sıcaklığı kontrol sistemi: bir elektrikli ısıtıcı ve bir sıcaklık kontrol cihazı ile donatılmış, soğutma suyu, hava-kemik ısıtma, elektrikli ısıtma ve koruyucu gazlar tarafından taşınan ısı çalışma sırasında izlenebilir ve kontrol edilebilir, pompalardaki sıcaklık uzun süreli bir değerde tutulabilir, bazıları gazlı maddeler normal sıcaklıkta katı maddelere dönüştürülmez ve pompalarda biriktirilmez ve aşındırma gibi özel işlem gereksinimleri karşılanabilir.