Manyetik olarak havaya kaldırılan moleküler pompalar, şaftları manyetik kuvvet sayesinde desteklenen pompalardır.
Seri manyetik olarak levitated moleküler pompalar, modern yarı iletken üretimi, çip üretimi, endüstriyel kaplama ve bilimsel enstrümanlar alanlarındaki uygulama gereksinimlerini karşılamak için KYKY tarafından geliştirilen vakum üretim ekipmanıdır.
Teknolojiler:
- Manyetik Rulman için Kontrol Teknolojisi: Kabul edilen elektromanyetik, manyetik olarak havaya kaldırılan 5 eksenli bir elektromanyetiktir. Bu tasarım, gelişmiş uluslararası kontrol teorisine dayanan dinamik aktif kapalı devre manyetik süspansiyon kontrol teknolojisi vasıtasıyla dinamik tepkiye ve zamanında ayarlamaya sahip olabilir, böylece yüksek hızlı şaftın kararlı, havada asılı ve güvenilir çalışma gibi önemli avantajlarını garanti eder.
- Motor Sürücü Kontrol Teknolojisi: Yüksek verimli, yüksek hızlı DC motor ve servo kontrol sistemi, manyetik olarak kaldırılan seri pompalara uygulanır, böylece motorun maksimum enerjisine sahip olur ve şaftın dönüş hızını otomatik olarak telafi eder, böylece kararlı başlatma, güvenilir çalışma ve otomatik düzenleme gerçekleştirir. dinamik enerjinin işlevi.
- Karbon fiber kompozit rotor teknolojisi: Seri manyetik süspansiyonlu moleküler pompaların turbo rotorları, yüksek mukavemetli alüminyum alaşımı ve hafif karbon fiberi birleştirerek yapılır. Tüm alüminyum alaşımlı rotorlarla karşılaştırıldığında, turbo rotorlar, yüksek dönüş hızı, yüksek performans ve yüksek güvenilirlik hedeflerine ulaşılabilmesi için ağırlıkta büyük azalma ve mukavemette büyük iyileştirme ile karakterize edilir.
- Korozyona dayanıklı teknoloji: Seri manyetik süspansiyonlu moleküler pompaların odalarındaki parçaların yüzeyleri, yarı iletken üretim süreçlerinde korozif gazların neden olduğu korozyona uzun süre dayanabilmesi için özel işlemle işlenir. Ek olarak, pompalardaki düşük vakumlu kısımları korumak için N2 gibi soy gazlar pompaların şaftına tamamen doldurulur, böylece uzun süreler boyunca stabil aşındırıcı gazları tahliye etme işlevi gerçekleşir.
- Isıtma sıcaklığı kontrol sistemi: Seri manyetik olarak levitated moleküler pompalar, bir elektrikli ısıtıcı ve bir sıcaklık kontrolörü ile donatılmıştır, böylece soğutma suyu, hava-kemik ısıtması, elektrikli ısıtma ve koruyucu gazlar tarafından taşınan ısı, çalışma sırasında izlenebilir ve kontrol edilebilir, pompalardaki sıcaklık muhafaza edilebilir. uzun vadede bir miktar değer, bazı gaz halindeki maddeler normal sıcaklıkta katı maddelere dönüştürülmez ve pompalarda biriktirilmez ve dağlama gibi özel işlem gereksinimleri karşılanabilir.
Avantajlar:
1. Çalışma sırasında sıfır sürtünme ve düşük güç tüketimi
2. Pompalar için yağlama olmadan gerçekten temiz yüksek vakum ve ultra yüksek vakum elde etmek kolaydır
3. Uzun vadede aşındırıcı gazları çıkarma kabiliyeti
4. Hassas seramik bilyelerle yatakların korunması nedeniyle yüksek güvenlik ve uzun hizmet ömrü
5. ani kapanma durumunda güç üretme işlevi
Özellikler:
modeli |
CXF-200/1401E |
Pompa Hızı (l/s, Hava) |
1400 |
Sıkıştırma oranı |
>1×107 |
Nihai Vakum (Pa) |
≤2×10-6 |
Giriş Flanşı |
DN200 ISO F |
DN200 ISO CF |
Çıkış Flanşı |
40 KF |
Dönme Hızı (rpm) |
33000 |
Çalıştırma Süresi (dk) |
6 |
VIB (mm) |
<0.05 |
Destek Pompası (L/sn) |
15 |
Montaj veya yönlendirme |
Herhangi |
Soğutma yöntemi |
Suçlu |
Ağırlık(kg)(Kontrolörlü) |
51 |
Uygulamalar:
Seri manyetik olarak havaya kaldırılan moleküler pompalar, esas olarak yarı iletken üretimi, klips üretimi, endüstriyel kaplama ve bilimsel enstrümanlar, özellikle aşındırma, CVD, PVD ve iyon implantasyonunda bulunan aşındırıcı gazların çıkarılması ve normal sıcaklıkta kolayca pıhtılaşan gazların çıkarılması için uygulanır.